单晶6H-SiC和4H-SiC的离子辐照效应研究

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ahjon

【摘要】

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【作者】

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吴哲超

【出处】

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哈尔滨工业大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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SiC单晶离子辐照辐照效应微观组织结构损伤机理

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