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该文论述方氮化硼(cBN)是一种新型的功能材料,在基础科学研究和实际应用中都有重要的价值.在该工作中,用热丝辅助射频等离子体CVD法在多种衬底上生长出氮化硼薄膜,并研究了工艺条件和衬底特性对薄膜质量的影响.
衬底特性及工艺条件与BN薄膜结构的关系
【摘 要】
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该文论述方氮化硼(cBN)是一种新型的功能材料,在基础科学研究和实际应用中都有重要的价值.在该工作中,用热丝辅助射频等离子体CVD法在多种衬底上生长出氮化硼薄膜,并研究了工
【机 构】
：
兰州大学
【出 处】
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兰州大学
【发表日期】
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1996年期
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