柔性有机电致发光显示（OLED）因其优良特性,已广泛运用到各行业,成为研究热点。不锈钢具有耐高温、耐腐蚀等性能,有望成为柔性OLED衬底的主要材料,但不锈钢衬底的表面质量要求较高,因此获得高质量的不锈钢表面显得尤为重要。根据研究,化学机械抛光技术可以有效改善不锈钢的表面质量,使其满足柔性OLED衬底的要求。本文通过单因素实验研究了磨粒浓度、pH值、H2O2浓度、络合剂浓度和缓蚀剂浓度对316L不锈钢化学机械抛光效果的影响。研究发现,磨粒浓度的升高会提升不锈钢的抛光速率和质量,但过高的SiO2浓度会增大不锈钢的表面粗糙度,Al2O3能达到较高的材料去除率,但不锈钢抛光后的表面质量较差。pH值的增加会降低不锈钢的去除速率,过高或过低的pH值都会增大不锈钢的表面粗糙度。随着H2O2浓度、甘氨酸浓度、草酸浓度和柠檬酸浓度的升高,不锈钢的材料去除率先增大后减小,表面粗糙度先减小后增大,加入柠檬酸后不锈钢的材料去除率要比不加络合剂时低。随着1,2,4-三氮唑（TAZ）浓度和苯并三氮唑（BTA）浓度的升高,不锈钢的材料去除率不断降低,TAZ对应的材料去除率高于BTA,TAZ或BTA的加入都使得不锈钢的表面质量得到改善。在SiO2浓度为8 wt%,pH为4,H2O2浓度为0.050 wt%,甘氨酸浓度为0.2 wt%,TAZ浓度为4 m M的抛光液参数下,316L不锈钢具有较佳的抛光效果。通过单因素实验研究了抛光工艺参数对316L不锈钢化学机械抛光效果的影响,实验结果表明,在抛光压力为2.0 kg（4.02 psi）,抛光盘转速为80 rpm,抛光液流量为60m L·min-1的工艺参数下,316L不锈钢具有较佳的抛光效果。通过电化学实验研究了pH值、H2O2浓度、络合剂浓度和缓蚀剂浓度对316L不锈钢化学腐蚀特性的影响。研究发现,随着pH值的上升,不锈钢的腐蚀电流密度先减小后增大,腐蚀电位先降低后升高再降低;随着H2O2浓度、TAZ浓度和BTA浓度的上升,不锈钢的腐蚀电流密度呈减小趋势,腐蚀电位呈升高趋势;随着甘氨酸浓度、草酸浓度和柠檬酸浓度的上升,不锈钢的腐蚀电流密度先增大后减小,腐蚀电位先降低后升高。pH值影响了不锈钢的阳极和阴极反应,其余参数主要影响了不锈钢的阳极反应,上述参数影响了不锈钢在抛光液中的化学腐蚀特性,从而影响了其抛光效果。通过红外光谱实验表征了TAZ和BTA的结构,结果发现,两者都有含N原子的官能团,有较佳的缓蚀性能。通过接触角实验研究了pH值、H2O2浓度、络合剂浓度和缓蚀剂浓度对316L不锈钢浸润性的影响。研究表明,随着pH值的增大,不锈钢接触角先减小后增大再减小;随着H2O2浓度、TAZ浓度和BTA浓度的增大,不锈钢接触角不断增大;随着甘氨酸浓度、草酸浓度和柠檬酸浓度的增大,不锈钢接触角先减小后增大。这些参数都影响了不锈钢在抛光液中的浸润性,从而影响了其耐蚀性和抛光效果。通过X射线光电子能谱（XPS）实验研究了316L不锈钢的表面成分,结果发现,甘氨酸促进了Fe2+的产生和芬顿反应的进行,生成的络合物会有一部分吸附于不锈钢表面;TAZ能够在不锈钢表面成膜,起到缓蚀作用,从而验证了前面实验理论的准确性。最后建立了316L不锈钢的化学机械抛光模型,对其加工机理进行了分析。