【摘 要】
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滤波器用于保留特定频段内的信号,将带外干扰和噪声滤除,是射频前端的重要器件,也是移动通信系统的重要组成部分。随着移动通信系统的发展日异月新,对移动终端中射频模块中的基础单元提出更高要求。滤波器件作为无线电系统中用于选频并且衰减其他频谱资源的装置,其性能优劣往往会对系统的整体性能起决定性作用。薄膜体声波谐振器（FilmBulkAcousticResonator,FBAR）可工作在较高频率,具有高Q值
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滤波器用于保留特定频段内的信号,将带外干扰和噪声滤除,是射频前端的重要器件,也是移动通信系统的重要组成部分。随着移动通信系统的发展日异月新,对移动终端中射频模块中的基础单元提出更高要求。滤波器件作为无线电系统中用于选频并且衰减其他频谱资源的装置,其性能优劣往往会对系统的整体性能起决定性作用。薄膜体声波谐振器（FilmBulkAcousticResonator,FBAR）可工作在较高频率,具有高Q值、小体积、大功率容量等特点。FBAR构成的一系列高性能滤波器件是目前以及将来在通信系统中提升频谱效率的基本保证。因此,对由FBAR所构成的体声波滤波器（BulkAcousticWave,BAW）的研究,显然成为一项兼具理论意义和实用价值的重要课题。本论文基于FBAR设计高性能BAW滤波器,主要研究内容包括以下几个方面:1.基于FBAR的改进的Mason模型,提出了一套完整的体声波滤波器的设计方法和设计流程,包括设计指标（Spec）制定、电路结构设计、电路仿真优化、Layout版图设计及ChipDie仿真、Laminate基板设计、声-电磁联合（EM）仿真、功率容量分析。2.根据所提...
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