论文部分内容阅读
自偏压对低气压射频氩气辉光放电影响的数值模拟
【摘 要】
：
辉光放电等离子体技术工艺成本不高,并且与现阶段所提倡的环保理念相吻合。凭借着该技术所呈现出来的优点,它在许多工业领域内被广泛采用。例如在微电子领域中的半导体制作与加工、等离子体刻蚀、等离子体薄膜沉积,在材料表面改性以及医疗、化工、环保等其他领域皆有应用。相比于在大气压和高气压的情况下,辉光放电等离子体在低气压条件下更容易产生。但是低气压条件下辉光放电产生等离子体是非常复杂的非线性物理过程,其物理机
【机 构】
：
大连理工大学
【出 处】
：
大连理工大学
【发表日期】
：
2019年01期
其他文献
激光在与黑腔作用过程中，将能量高效地转化为x射线辐射场。利用该辐射场，人们可以在实验室环境中产生高压冲击波以致力于聚变点火过程以及对高能量密度物质的研究。然而黑腔辐
内蒙古自治区包头市的白云鄂博铁矿是世界上罕见的多金属共伴生矿，该矿中镨、钕、镧、铈以共伴生形态与铁共存。传统的稀土永磁材料主要利用镨、钕、镝、铽等稀土元素制备，导致
随着现代科技的飞速发展，器件逐渐趋向小型化，传统无机半导体材料制成的器件已经越来越接近尺寸的极限。近几年来，受益于自组装膜、扫描隧道显微镜以及分子单层和单分子等实验技