微型方孔是微孔中重要的结构形式,因其承受转矩大,导向性强,运动平稳性好等优点,而被广泛的用于航空航天、汽车、船舶以及高精度伺服阀等领域。现有的方孔加工技术有机械加工、高能束流加工、电火花加工以及电解加工。机械加工受到刀具尺寸限制,很难加工出微方孔,且刀具易损耗,难以加工高硬度材料;激光加工和电火花加工都以热效应进行材料去除,加工存在重铸层等缺陷。与其他微细加工方法相比,电解加工在原理上具有巨大优势。国内外研究者对方孔的电加工研究较少,探索方孔的电加工方式有利于弥补这方面的空白。针对0.1mm厚的321不锈钢上微方孔的电加工,本文提出了三种加工方案:成型电解加工、电解铣削方孔、电火花电解组合加工方孔。主要的研究内容如下:(1)成型电解加工:采用阴极跳跃辅助阳极振动的方式进行电解打孔,制备工作段截面尺寸为100*20μm的钨片电极,实验探究电解液种类、电压、脉宽和电极形状对成型电解打孔的影响,改造实验加工系统,设计工装夹具。(2)电解铣削方孔:包括电解钻孔、电解铣削粗加工、电解铣削精加工三步。制备三阶柱状电极,在粗铣中分析双脉冲和进给速度对电解加工的影响,优化加工参数,在保证加工稳定的前提下提高加工效率;在电解铣削精加工中,探究电压、脉宽、周期、进给速度对拐角半径的影响,优化加工参数,成功加工出小拐角半径的微方孔。(3)电火花电解组合加工方孔:先采用电火花分层铣削方孔,再电解修正。改造电火花电解组合加工系统,设计工装夹具,制备微细方形电极,开展电火花电解组合加工实验研究,优化加工参数,高效加工出微型方孔。