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本文运用动力学蒙特卡罗(Kinetic Monte Carlo,KMC)方法,模拟了金属Fcc(111)面上薄膜的三维生长,对比了fcc(face-centered cubic)位置正常生长和包含hcp(hexagonal close-packed)位置层错结构生长下的薄膜三角、六角形紧致生长形貌和分形生长形貌,分析了基底温度、沉积速率、覆盖率等生长条件对薄膜同质外延生长的影响。模型选取Fcc(111)面900×900的六角晶格作为基底,采用周期性边界条件,模拟粒子从高处沉积至基底、粒子的同层扩散、层间扩散、绕岛成核以及原子岛合并等过程,并考虑了扩散的各向异性以及最近邻粒子数的影响。获得的主要研究结果如下: 与单纯考虑fcc位正常生长相比,层错结构下生长的薄膜岛个数较多,岛尺寸较小,薄膜粗糙度较低;随基底温度的升高,层错结构薄膜岛个数减少,岛尺寸增加,粗糙度增大;随着沉积速率的增加,层错结构薄膜岛个数增多,岛尺寸减小,粗糙度减小;分形生长时,随着覆盖率的增加,薄膜粗糙度增大,层错结构薄膜粗糙度增加较缓慢。