放电加工作为一种非接触式加工方法，具有成本低、无宏观加工力等优点，在微细加工领域占有重要的地位。它可以通过控制单次放电的能量来获得极小的加工去除单位，具备微纳米尺度加工的潜力。微细工具电极的损耗及补偿一直是微细电火花加工的难题，尤其是纳米放电加工过程中，由于通常采用具有纳米尺度的探针尖端作为工具电极，因此电极尖端极易产生损耗，这也是制约纳米放电加工走向实用化的一个重要障碍。本文提出了一种利用动态场致射流作为工具电极进行放电加工的方法场致射流微细放电加工（Field Induced Jet Micro EDM）。该方法以直径可达到亚微米甚至纳米尺度的场致射流作为工具电极，而不存在电极损耗及补偿问题，且依靠毛细管效应和电场力作用即可实现电解液的自动供液而无需泵阀等元件。首先，针对场致射流微细放电加工的工艺特点，设计了场致射流微细放电加工装置，包括发射极、高压电源、液体介质及其它辅助部件等，建立了加工装置的模型，确保各部件之间配合良好。结合前期探索实验的研究成果，介绍了场致射流微细放电加工原理。其次，搭建了高速摄像观察实验系统，利用高速摄像技术拍摄和观察场致射流微细放电过程。实验发现，场致射流微细放电现象具有周期性，场致射流因尖端放电而崩溃后会在下一个周期再次生成，循环往复，其频率约为140~250Hz。最后，利用场致射流微细放电加工装置进行了加工不锈钢的工艺实验。实验发现，射流放电可以产生有效的材料去除，产生的单点放电蚀坑直径为2μm左右，表明场致射流微细放电加工是一种有效的微细加工方法。