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类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜具有高硬度、高弹性模量、优异的减摩耐磨性能、良好的光透过性、较强的化学稳定性和生物相容性等优异的性能,在太空机械、加工模具、汽车、电子器件、光学、生物医学等领域拥有广阔的应用前景。本文采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)在聚对苯二甲酸乙二酯(PET)和聚丙烯(OPP)薄膜材料表面沉积DLC薄膜来增强薄膜的阻隔性,拟将其应用于包装中以达到代替金属蒸镀、金属氧化物镀膜等材料的目的,同时还改善材料使用安全性及回收性能。论文通过实验探索