微透镜是微光学系统中最为重要的光学元件之一。在微光学系统中,用有机微透镜代替传统微透镜,能够起到改善并优化微光学系统性能的作用,这些微光学系统性能包括:微光学系统尺寸、微光学系统质量、微光学系统成本等。在本论文中,对自主设计的一种新的有机微透镜加工方法,即准分子激光光阑法,进行了微透镜加工工艺研究,取得了较好的结果,所加工出的微透镜尺寸为φ80um-φ120um、F数为0.8-6.3。由于准分子激光光束质量较低,因此在准分子激光光路中引入了一组扩束准直透镜、两组复眼透镜阵列和汇聚透镜作为准分子激光均束器,对准分子激光进行均束处理。准分子激光在经过了准分子激光均束器后变换为一能量分布均匀的光斑。并且,通过对投影光刻系统(包括掩模和缩小投影物镜)和光阑的设计实现了使用准分子激光光阑法加工微透镜。在使用准分子激光光阑法加工微透镜的过程中,通过改变掩模和光阑的形状尺寸,能够控制微透镜的形状尺寸;通过改变准分子激光加工脉冲个数和准分子激光抛光脉冲个数,能够控制微透镜的表面形貌。使用准分子激光光阑法加工微透镜能够大大地降低微透镜的加工成本并提高微透镜的加工效率。