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随着科学技术的发展,大口径光学元件在高端系统(如航空航天摄像设备、天文望远镜、半导体光刻机、激光诱导核聚变系统等)中的应用越来越广。通常采用根据被测光学元件原始面形数据进行可控补偿加工的计算机数控抛光技术加工这些元件。其中,面形数据一般由高精度的激光干涉仪测量得到。对于大口径光学元件而言,其检测往往要求干涉仪配备比与其口径相等或者更大的标准镜。然而,大口径标准镜制造周期长、成本高;且各系统中大口径光学元件的尺寸逐渐增大,因此采用更大尺寸的标准镜进行干涉测量不符合高效制造与经济制造的要求。子孔径拼接技