精密转台是一种集光机电于一体的机电设备,在众多领域具有重要应用,也光学精密检测与计量、纳米器件制造中的核心设备之一。转台伺服驱动控制是实现转台功能的重要技术之一,研究精密转台的伺服驱动技术具有十分重要的理论与应用意义。课题以微纳CT超精密转台为控制对象,着眼于实际应用需求,研究开发重庆大学ICT研究中心制造的精密气浮转台伺服驱动控制系统。论文主要研究工作如下:(1)分析了微纳CT用精密气浮转台的结构特点,从机械结构、驱动控制系统两方面详细分析了转台伺服控制系统的构成和工作原理。完成了转台伺服控制系统选型与总体控制方案设计。(2)以转台驱动部件—永磁无刷直驱力矩电机为对象,基于电磁学和动力学方程建立被控对象数学模型;并用不同控制算法(PID、Fuzzy-PID)对伺服控制系统闭环回路调节器进行详细设计;在MATLAB/Simulink环境下进行仿真研究,对比验证不同算法的有效性;并得出较优控制参数。(3)完成了转台伺服驱动控制系统的硬件、软件研制。研制了系统主控电路、功率放大电路、相电流检测电路、其他检测保护电路、通信电路、LDO电源电路;研制了上位机PC通信软件和下位机控制算法软件;完成了伺服系统控制策略的算法程序、服务和中断子程序。(4)搭建了实验平台,对所研制的转台伺服驱动控制系统进行实验研究,验证了硬件系统和软件的设计正确性。实验结果表明,研制的系统能实现精密转台转速和位置控制,具有较好的跟随性。