LCOS显示是LCD与CMOS集成电路有机结合的反射型新型显示技术,LCOS作为新型显示器件具备大屏幕、高亮度、高分辨率、省电等诸多优势,其应用产品被许多人所看好,LCOS可能是HDTV(High Definition Television)的背投影技术发展的主要方向,在大屏幕投影显示中具有重要地位,由于经济和轻便,成为CRT技术大屏幕投影电视机的主要竞争者。与穿透式HTPS-LCD(High Temperature Poly-Silicon-Liquid Crystal Display)及DLP(Digital Light Projector)相比,LCOS具有下列优势:光利用效率高、体积小、分辨率高、制造技术较成熟。近年来,LCOS显示技术的迅猛发展和产业化,极大的促进了光学薄膜的发展,同时也对光学薄膜提出了更多更高的要求。论文针对LCOS显示技术的要求,对系统中的光学薄膜进行了深入的研究和探讨。论文主要包括以下几个方面内容:第一章简要介绍了光学薄膜的历史和发展以及LCOS显示技术的发展现状。阐述了光学薄膜、光学薄膜设计和光学薄膜制备技术的历史和发展现状,并详细讨论了LCOS显示技术的优势及其面临的问题。第二章回顾了光学薄膜设计的理论基础。从麦克斯韦方程组出发,阐述了单色平面电磁波的基本性质,以此为基础讨论了光学薄膜的理论计算和分析方法,为LCOS光学系统光学薄膜的设计奠定了基础。第三章深入分析研究了应用于LCOS光学系统中所需的光学薄膜系统,并完成了各类薄膜的设计计算。LCOS光学系统所需的薄膜是一个复杂、高精度、种类繁多的薄膜系统,包含:应用于彩色分光镜和合光镜的截止滤光片、应用于偏振分束镜的偏振分光膜、在照明系统中所需的冷光膜,此外还有宽带增透膜、各波段增透膜和高反膜。运用Mass设计软件完成了各种薄膜的设计计算,获得了性能优良、工艺性好、满足设计要求的优良薄膜结构。第四章主要讨论研究了薄膜的制备工艺。在光学薄膜研究中,只要特性要求合理,总能设计出适用的多层膜结构。其关键问题在于多层膜的实际制备,这涉及到设计制备误差宽容的膜系结构;选择合适的薄膜材料和制备工艺;精确控制各层薄膜的厚度和折射率,以得到预期的光学和机械特性。为了验证所设计薄膜的性能,开展了大量的工艺实验研究。在实际制备中,由于仪器设备和时间的限制,仅制备了一些具有代表性的薄膜,如宽带增透膜、高反膜和截止滤光片,并检测了所镀薄膜的特性,获得了较好的实验结果。第五章简短对全文进行了总结,并对下一步的工作进行了展望。