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在功能材料领域,磁性薄膜材料作为一种很重要的分支被广泛用于微电子和信息技术,特别是在微机电系统(MEMS)中,由于其优良的性能,而被国内外科学工作者广泛关注,成为近年来的研究热点。稀土永磁薄膜材料是稀土永磁材料的发展的重点方向之一。随着科技的发展,要求器件微小化、功能兼容一体化,在这一领域,薄膜材料有着先天的优势,是普通块材所无法满足的。Sm-Co永磁薄膜材料作为第二代稀土永磁材料,虽然其常温下磁能积不如第三代稀土永磁材料Nd-Fe-B高,但其具有高的居里温度、耐腐蚀性等一些第三代稀土永磁材料Nd-