随着微机电系统和微电子工业的迅速发展,微型化产品越来越受到青睐。但是,传统的微细加工技术已无法满足三维复杂形状微型零部件的批量化生产,也限制了加工材料的多样性。作为微塑性成形技术之一的微挤压成形,适合成形形状复杂的微器件,且满足批量生产的要求。本文针对微挤压中冷热成形的不足,提出了温挤压微成形工艺,并进行了温挤压微成形系统设计。另外,利用ABAQUS有限元软件就温挤压微成形进行了数值模拟。主要研究工作有:首先,对温挤压微成形系统进行了研究设计。该系统主要包括激光加热部分、挤压模具、凹模加热和温控组件、压力施加机构、进给机构、三维微动平台等部分。采用激光照射的非接触式加热方式对毛坯进行加热,通过控制激光功率和光斑直径可对毛坯实现有选择性的加热,可控性好,效率高。同时对该系统的工作原理进行了阐述。其次,通过微压缩实验研究了在流动应力方面表现出的“尺度效应”问题,以及流动应力和变形程度、应变速率以及不同润滑条件等参数的关系。讨论了压缩中流动应力的修正问题,并采用鼓度法对材料流动应力进行修正,修正后的最大流动应力减小了5%左右,获取了真实应力-应变曲线,为有限元分析提供数据准备。最后,利用ABAQUS/Explicit模块模拟了铝合金材料的温挤压微成形过程,探索出坯料在微挤压筒内的流动行为和工艺参数对温挤压微成形规律的影响。从等效应变、应力分布、挤压力变化、温度分布以及流动速度等方面来分析成形温度、挤压速度、不同润滑条件等参数对成形性能的影响,为其模具优化设计提供依据。最后采用挤出端凸度作为标准来评价微挤压件的成形性。