随着MEMS技术的飞速发展，微型塑件在各种微型机电产品中的应用需求越来越多。但由于微型塑件的结构尺寸与体积极其微小，传统的、宏观上的注塑成型工艺理论和方法不能完全用来指导微型塑件的注塑成型，需要从微观的角度结合微型塑件的实际特点，建立新的微注塑成型工艺理论和方法。 本文在对微注塑成型技术的国内外研究状况深入分析的基础上，借鉴普通注塑成型的基本理论和工艺方法，针对微注塑成型工艺过程的实际特点，采用Moldflow软件模拟与正交实验相结合的方法，以MEMS领域常用的微型齿轮塑件为对象，选用了POM等三种不同塑料材料，进行了微注塑成型工艺参数对微小塑件成型质量影响规律的研究。并采用极差分析方法确定实验影响因素的主次顺序，以方差分析方法求得各因素对实验指标的贡献率。实验结果表明，用POM和PP材料进行注塑成型实验时，模具温度和熔体温度是影响微型齿轮模具型腔填充流动的主要因素，其中模具温度要达到100℃，熔体温度要高于材料熔点50℃左右，这两种因素作用的贡献率之和超过了70％。而注射压力、注射速率等因素对熔体填充流动的影响较小。当选用ABS材料进行同样的注塑成型实验时，却发现在正交实验确定的工艺参数组合中，没有一组实验能使熔体充入模具型腔。由此表明，在普通注塑成型中被视为流动性中等的ABS材料，并不适合用于微注塑成型。 微型齿轮塑件的注塑成型试验研究，对进一步深入开展微注塑成型的基本理论和实用技术，提供了有价值的参考。