阵列式加速度传感器集成设计

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该文应用阵列式加速度传感器研究加速度场的分布.应用多元线性回归给出了在线性情况下,建立研究对象的加速度场的数学模型的基本原理和常用的算法,并对其进行了程序设计.应用了正交回归的实验设计,研究了陈列式加速度传感器设计的一般原则.介绍了微机械加工工艺的几个关键技术,研究了阵列式加速度传感器的加工工艺.并设计了阵列式加速度传感器试样.
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