【摘 要】
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目前大功率半导体激光器普遍采用宽条形结构,但是这种宽条大功率半导体激光器存在输出光束发散角很大,光强分布不对称(垂直于结面方向的发散角很大,一般为30°～60°,平行于结
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目前大功率半导体激光器普遍采用宽条形结构,但是这种宽条大功率半导体激光器存在输出光束发散角很大,光强分布不对称(垂直于结面方向的发散角很大,一般为30°～60°,平行于结平面的发散角较小,一般为10°～20°),并且条内温度场变化易于产生横模不稳定等问题。本论文从条形半导体激光器的理论出发,分析了影响器件的横模、远场垂直发散角、远场水平发散角以及纵模等光束参数特性的因素。设计了高斯线分布接触图形和大光腔两种改善光束特性的结构。针对器件自身发热会影响光束质量的问题,在工艺制作(欧姆接触和热沉处理)上对其进行了优化。分析了大功率半导体激光器的各种光束质量评价指标,并对器件优化前后的光束特性进行测量及分析。
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