导轨是精密机床的关键部件,导轨的运动精度会直接复刻或放大至超精密机床上,而静压导轨的变形是导致工作台产生运动误差的主要原因,因此对导轨变形的研究是很有必要的。节流器作为恒压式静压导轨中不可缺少的节流调压部件,其加工误差的存在会直接影响节流器的节流精度,进而影响导轨的动静特性,因此有必要对节流器的精度进行研究。本文以环形缝隙节流器为研究对象,分别对节流器的尺寸误差、圆柱度误差、同轴度误差以及垂直度误差对流阻的影响进行了分析。研究发现尺寸误差对节流器流阻的影响最为显著,形位误差的存在会减小节流器的流阻,其中垂直度误差对节流器流阻影响很小,可忽略不计。提出用尺寸精度较高的针规代替环形缝隙节流器完成节流调压功能,搭建了环形缝隙节流器流阻测量装置,测量针规在节流器安装座中处于倾斜和偏心状态下节流器的流阻值。倾斜状态下针规节流器的阻值服从正态分布,说明了针规具有较好的节流稳定性。对环形缝隙节流器和针规节流器进行对比分析,验证了针规替代节流器是完全可行的。建立静压导轨的变形模型,并采用ANSYS软件对导轨压板进行仿真,分析了工作台在不同位置、不同螺钉个数、不同螺钉步距以及不同螺钉排布方式时导轨压板的变形情况。研究表明导轨压板的变形随螺钉个数的增加而减小,随螺钉步距的增加而增大,相同条件下压板两端位置的变形大于中间位置。将等步距的螺钉排布方式分为三角形、矩形和平行四边形三种排布方式,发现螺钉呈三角形排布方式下压板的变形量最小,平行四边形排布方式下变形量最大。