挥发性有机物(VOCs)来自于有机原料和生产中的有机产物分解，会对空气造成污染。低温等离子体技术处理挥发性有机物，具有范围广、效率高、能耗低等优点，尤其在处理低含量的挥发性有机物的方面，具有显著作用。甲苯是典型的挥发性有机物，本实验选用甲苯为研究对象，并选用低温等离子放电方法中的介质阻挡放电这种有效方法，来处理甲苯废气。以气相色谱分析法为研究方法，研究电压、频率、占空比、气体流速和气体初始浓度这些基本因素对甲苯去除率的影响，分别进行小试和中试的实验。初步探讨了低温等体处理甲苯废气的机理。得到以下结论:　　(1)在电压100kv、甲苯初始浓度为100 mg/m3且气体流速1m/s时，甲苯的去除率可达到100％。甲苯的去除效率随着电压、频率、占空比的增加而增大，随初始浓度和气体流量的增加而降低。更换反应器，加大反应器的极距，反应器的电场强度降低，甲苯的去除率在降低。　　(2)增大电压，能量效率随能量密度的增加，先升高后降低;而加大频率、占空比后，能量效率随能量密度的增加而减小。即在一定能量密度范围下，可以用增加电压的方法增加目标产物的收益，而不应该采用增加频率、占空比的方法。　　(3)将反应器扩大后，使得废气的处理量增加了。通过比较能量效率的最高点:使用小反应器，当能量密度为150.77J/L时，能量效率达到最大值;使用大反应器，当能量密度在101 J/L时，能量效率达到最大值。在同等条件下，要获得最大的能量效率，大反应器中相应的能量消耗小于小反应器的能量消耗，更适合工业生产。