基于法拉第旋光效应的激光外差干涉纳米测量系统的优化设计

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激光干涉测量技术广泛应用于精密技术测量领域。激光干涉纳米测量存在的一个普遍问题是:当采用平面镜作为测量镜时被测物体的转动会使测量光束发生偏转,而当采用角锥棱镜作为测量镜时横向运动亦会使测量光束偏离原光束返回方向,这种测量光束无法正确逆返的问题,将导致较大的测量误差,影响测量精度的提高。本论文在描述基于法拉第旋光效应的测量光束正确逆返方法基础上,对利用该方法实现激光外差干涉纳米测量的系统进行优化设计和分析。论文在分析国内外纳米测量技术研究现状的基础上,描述了基于法拉第旋光效应的激光外差干涉纳米
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