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氧化钒薄膜是优异的热敏材料,在许多技术领域中具有广阔的应用前景,已成为国内外功能材料研究的热点之一。本论文针对非制冷红外探测器开展了红外热敏薄膜制备及电学性质的研究,采用真空蒸发—真空还原法制备氧化钒薄膜,结合相关理论制定了一系列实验,通过该种工艺,制备出纯度较高、结晶度好的几种主要的钒的氧化物(V_2O_5、VO_(2(B))、VO_(2(A))、V_2O_3)。并研究不同制备条件下所得薄膜的性能差异。论文的主要内容包括: 1.氧化钒薄膜的介绍及结构特性