【摘 要】
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随着微显示技术的高速发展,越来越多的厂商开始研发硅基OLED（Organic Light-Emitting Diode on silicon）微显示器。而国内的硅基OLED技术仍不成熟,所以为了提高产品的良品率、优化生产工艺和减少生产成本,在产品生产过程中引入缺陷检测技术。传统的检测技术是依靠人眼进行检测,因受到人的主观意识的影响,无法保证检测标准一致,存在效率低和检测精度低等缺点。而近些年来一门
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随着微显示技术的高速发展,越来越多的厂商开始研发硅基OLED（Organic Light-Emitting Diode on silicon）微显示器。而国内的硅基OLED技术仍不成熟,所以为了提高产品的良品率、优化生产工艺和减少生产成本,在产品生产过程中引入缺陷检测技术。传统的检测技术是依靠人眼进行检测,因受到人的主观意识的影响,无法保证检测标准一致,存在效率低和检测精度低等缺点。而近些年来一门新兴技术即机器视觉技术可以替代人工进行检测,具有检测精度高和检测效率高等优点,为制造业的智能化做出巨大贡献。为了改变国内无硅基OLED显示缺陷检测设备的现状,本文设计了一台硅基OLED缺陷检测设备,主要工作有:1)研究硅基OLED的结构、发光原理和生产工艺,分析硅基OLED几种常见的缺陷以及缺陷产生的原因。2)针对硅基OLED的显示缺陷,完成相机、镜头和光源的选型,搭建视觉检测系统,该系统的检测精度可达到2.2μm。优化检测方案,解决高倍镜头景深不够导致产品像素点和灰尘无法同时聚焦清晰的问题。3)使用图像处理技术,设计各类缺陷的算法检测流程,对视觉系统所采集的图像进行处理,检测出产品上存在的缺陷,并得到缺陷的信息如缺陷类型、缺陷位置和缺陷大小等,以便于反馈到工艺段,指导产品生产工艺的改善。4)设计一款人机交互软件,控制产品的检测流程并显示检测结果。最后将视觉检测系统、检测算法和检测软件集成到一台设备上,将设备投入硅基OLED的生产中,验证设备的检测能力。检测结果表明:该设备对于点、线和Mura类缺陷的漏检率控制在2%以内,显示类缺陷的漏检率小于6%,高于市场中显示屏缺陷检测设备的标准水平,满足硅基OLED厂商的检测要求。
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