【摘 要】
：
随着集成电路的逐步发展,器件的特征尺寸被要求不断减小,铝及其合金已无法适应这种改变,由于铜具有更低的电阻率和RC延迟、更优越的抗电迁移特性,已完全取代铝成为首选的深亚微米IC金属布线材料。迄今为止,化学机械平坦化（CMP）被认为是可以同时兼顾全局和局部平坦化要求的最有效方法,已广泛应用于多层铜布线双大马士革镶嵌工艺中。但由于抛光后的铜表面存在分界面化学反应和研磨微粒,会引入沾污和表面缺陷,尤其是以
【基金项目】
：
007）','1668','vsL6mqzdzUrMKxIyJoW1xR2LSV081MIk-34RwxgyjhO_l8rg3L7WBw==');
">国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目（2016ZX02301003-004007）；
论文部分内容阅读
随着集成电路的逐步发展,器件的特征尺寸被要求不断减小,铝及其合金已无法适应这种改变,由于铜具有更低的电阻率和RC延迟、更优越的抗电迁移特性,已完全取代铝成为首选的深亚微米IC金属布线材料。迄今为止,化学机械平坦化（CMP）被认为是可以同时兼顾全局和局部平坦化要求的最有效方法,已广泛应用于多层铜布线双大马士革镶嵌工艺中。但由于抛光后的铜表面存在分界面化学反应和研磨微粒,会引入沾污和表面缺陷,尤其是以腐蚀抑制剂为代表的有机污染物,它会形成薄膜阻止清洗液到达晶片表面。因此了解抑制剂在铜表面的吸附及解吸机理对CMP后清洗技术至关重要。本文首先通过对比实验法研究了抑制剂BTA和TAZ在铜表面的吸附钝化机理,根据两种抑制剂在相同环境,不同铜表面状态下的吸附特性进行了接触角、电化学阻抗谱（EIS）和X射线光电子能谱（XPS）测试,理论结果与实验结果吻合,得到了抑制剂的吸附行为与铜表面氧化物含量之间的关系。发现BTA强吸附于柠檬酸处理（Cu2O层）的铜表面,TAZ则强吸附于柠檬酸+H2O2处理（Cu O和Cu（OH）2层）的铜表面,证明了两种抑制剂在铜表面的吸附难易程度取决于一价铜和二价铜的含量。这对抛光时不同抑制剂的选用具有重要的意义。本文还以铜的CMP后清洗液为研究方向,研究了不同螯合剂、表面活性剂浓度的变化对BTA和TAZ去除效果的影响,分析了各成分在清洗过程中的效用规律,通过实验表征并结合分子动力学计算揭示了清洗液组分的作用机理。此外,还确定了新型碱性清洗液的最优组份方案。最终得知200 ppm FA/O II、200 ppm精氨酸和1800 ppm Triton X-100组合的清洗液能够有效去除BTA和其他微缺陷。而25 ppm EDTA和600 ppm LABSA则对TAZ的去除最为显著,最后通过调节该组合清洗液的p H值,研究了不同p H值对TAZ去除效果的影响,发现清洗液的p H值为10.6时,表现出优异的TAZ清洁性能。同时,实验证明表面活性剂有一定的缓蚀性能,还有助于后清洗过程中晶圆表面的平滑。
其他文献
发现培养选拔使用优秀年轻干部,是加强领导班子和干部队伍建设的一项基础性工程。近期,昌乐县委组织部对当前选拔使用优秀年轻干部工作面临的问题进行调研,形成调研报告,为加快优秀年轻干部培养选拔提供参考。年轻干部培养选拔现实困境通过调研发现,各地在年轻干部选拔培养方面做了大量有益探索,取得了一定成绩,但是也存在一些问题。主要表现在五方面:
语言是一种必要的信息载体。在国际化交流活动日渐增多的今天，英语在日常生活的方方面面都在发挥其应有的作用。因此，在小学英语学科教学的具体过程中，培养学生的英语语感至关重要，构建起小学生的英语语言能力和语感对于日常交流活动、国际化信息沟通以及社交活动的顺利进行都具有不可或缺的作用。本文从小学英语学科教学中小学生语感培养的现状、意义以及帮助小学生筑造英语语感的具体策略等方面，对小学英语教学中的语感培养问
交流接触器是一种用于频繁接通和断开用电设备的低压开关电器。其个体的电寿命将直接影响用电设备的可靠运行,因此对交流接触器个体电寿命预测问题的研究就尤为重要。交流接触器个体的电寿命退化过程分为不同时期,通过寿命前期的关键初态特征,预测交流接触器个体的预期电寿命等级,可实现交流接触器个体使用前离线阶段的预期电寿命定性评估;通过寿命后期的性能退化特征,预测交流接触器个体后期的剩余电寿命次数,可实现交流接触
土遗址是较少受到公众关注的文化遗产类型,也是数十年来遗址保护的难点。"合理利用"是中国遗址保护几十年经验的总结,也是社会发展的必然,而建设遗址公园是重要的方式之一。改变理念是土遗址保护的关键所在,关于遗址公园的建设,我们需厘清建与不建、拆与不拆、定位是遗址还是公园这三个问题。建设遗址公园不再只是为了保护遗址,同时也传承优秀文化,满足公众的文化和休憩需求,应采纳"合理利用"的方式,同时"加强管理",
为比较商品猫粮分析保证值与检测值之间的差异，本研究选择了29款电商销售的低价猫粮，并测定其标签中规定的营养成分含量，评估电商途径购买的宠物饲料的质量安全风险。结果表明：粗蛋白质和总磷的测定平均值低于分析保证值最低值的平均值，差值分别为-12.23%和-0.06%。粗灰分的测定平均值高于分析保证值最高值的平均值，差值为0.83%。粗脂肪、粗纤维、水分、钙测定平均值满足最低保证值平均值，但部分产品不在
人才是我国经济社会发展的第一资源,关键人才的流失将对企业造成极大的影响,建立适合企业本身的人才离职预测模型有着至关重要的意义。目前,随机森林算法在该领域有着广泛的应用,但在大多数企业的人才信息数据库中,离职人才与在职人才信息数量的不平衡导致了随机森林算法预测性能的不稳定;同时各个企业的人才离职因素不尽相同,而随机森林算法的节点分裂方式较为单一,不能根据不同企业人才信息的特点做出调整。针对以上问题,
随着人工智能领域的飞速发展,物体识别技术的研究成为越来越多人关注的热点,物体识别技术中最为关键的部分就是特征提取,传统的特征提取算法一般采用人工设计的方法,不能准确的表示物体的特征信息,如何对特征提取算法进行优化,得到更为准确、完整的物体特征信息成为物体识别领域的主要研究方向。为了能够有效的完成物体识别的特征提取和分类工作,本文将稀疏字典学习算法应用于物体的特征提取过程,本文主要工作如下:首先,分
2020年12月20日,"2020中国区域农业品牌发展论坛暨2020中国区域农业品牌年度盛典"系列活动在北京拉开帷幕,论坛重磅发布了《中国区域农业品牌发展报告（2020）》（以下简称《报告》）。《报告》将我国农业概括为一个"稳"字。从"稳"出发,将区域农业公用品牌在2020年的突出特征以及对2021年的憧憬进行诠释:中国经济稳中有升,农业品牌稳成长,特色品牌稳增长,2021稳预期。
姿态估计使计算机能够识别图像中人体的解剖学关键点,作为人体动作识别和行为分析的研究基础,姿态估计广泛的应用于智能监控、人机交互等领域,是计算机视觉领域的研究热点。随着深度学习的引入,使得基于静态图像的多人人体姿态估计的性能得到一定提升,进而发展出基于视频的多人人体姿态跟踪技术。然而由于人体交互遮挡、服饰多样化、自身遮挡、光照变化和场景物体干扰等因素,使得多人人体姿态估计与跟踪仍然是具有挑战性的一项
太阳能电池作为新一代清洁能源的制造者,其缺陷的存在极大地影响太阳能电池使用寿命和转换效率。基于机器视觉的太阳能电池缺陷检测技术为太阳能电池成品质量提供了有效保障。然而,由于太阳能电池缺陷样本数据规模少、背景出现非均匀随机纹理分布等情况,依靠大量数据训练的深度学习方法和基于背景重构的方法应用于太阳能电池缺陷检测时存在诸多问题。为此,本文提出了一种基于生成对抗网络的太阳能电池缺陷数据增强方法和一种针对