随着市场对产品质量要求的日益严格和国际上对环保要求力度的加强,我国精密零件清洗工业受到极大的挑战,长期在精密零件清洗领域占据主导地位的ODS类清洗工艺由于破坏臭氧层而被禁止使用。作为代替品出现的一些氯代烃清洗剂、水基清洗剂和碳氢溶剂由于分别具有毒性、水处理繁琐、清洗效果较差以及不易干燥、安全性较差等缺点阻碍了国内清洗工业的发展。为此,针对精密零件清洗中的以上问题,本文对碳氢溶剂超声波清洗及真空干燥工艺进行分析研究,并最终研制了精密零件清洗机,满足了目前的清洗需求。主要研究内容如下:1、对精密零件国内外清洗行业现状进行了较为详尽的调查,对碳氢溶剂做了较为详尽的分析,并通过清洗对比试验分析温度、外加物理力和清洗时间等因素对碳氢清洗效果的影响。2、对超声波清洗原理进行分析,根据精密零件的特点研究降低清洗液内部含气量的方法。同时,针对碳氢溶剂不易干燥且安全性较差的缺点研究分析真空干燥技术的可行性,并确定其真空干燥过程的真空工作压力在13.3KPa以下,加热温度为110℃左右。3、制定精密马达为代表的精密零件清洗工艺流程,依此设计开发了精密零件清洗机。在清洗机的研制过程中,根据碳氢溶剂的性质设计了真空系统对精密零件进行蒸气清洗和真空干燥。同时,提高超声波作用的效果,设计了真空脱气装置。4、根据清洗机的控制要求,设计了PLC控制系统,编写PLC控制程序。对清洗机进行调试,确定其运行参数,保证清洗质量。研究工作证明,将碳氢溶剂与真空技术相结合可以更加充分发挥清洗优势。本文的研究成果已经用于生产实际,精密零件清洗机比过去采用热风干燥工艺清洗机的清洗时间提高60%以上,保证精密马达壳体和转子平均清洁度小于2mg。同时,本研究成果还可以推广应用到其他零件的清洗中。