最近几年半导体产业在中国迅猛发展,其生产规模不断地扩大,制造工艺也日益复杂。半导体市场以其技术含量高、制造工艺精细、原本材料成本高、信息交流速度快,产品生产周期短的特征,使其竞争相当激烈。由于半导体制造流程复杂和专业性很强,所以半导体制造环境迫切需要能够快速响应生产线实际状态的调度方法,参考蚂蚁生态系统中个体蚂蚁间接通讯实现群体优化的特征,将若干生产因素切割成独立信息素,再根据半导体制造生产线的机台设备特性,给出了模仿信息素机制的半导体晶圆厂生产线动态派工规则。该规则同时考虑了批加工机台设备和非批加工机台设备的工件动态派工,具有能够改善整条半导体制造生产线的能力。半导体晶圆制造系统是非常典型的大规模复杂重入型制造系统。要解决全局生产调度优化及并且兼顾各区派工优化的实际问题,就需要整合具时变特征的多目标生产调度方法及区域派工策略,从而建立起来一个高效率的时变多目标的生产控制体系。从我国当前半导体晶圆制造企业实际的生产调度的角度出发,以典型的瓶颈区域光刻机台为例,根据系统仿真方法以及模糊控制理论,为在区域内运行实时派工和兼顾全局生产调度优化的类似复杂的问题提供了很好解决方法。该派工方法是除了在求解速度和优化质量二者之间取得平衡外,很好的实现了全局以及兼顾部分重要区域优化的效果,为实现科学生产控制、调度与派工提供了有效的策略和方法。根据实际生产线模型的仿真结果表明,与生产线上当前使用的调度规则相比,该动态派工规则能够更好的帮组我们改善半导体生产线性能,获得较高的产量和准时交货率,以及较低的生产周期。本文在充分了解及分析国内外半导体及实时派工系统的发展状况,提出了一套实时派工系统系统整合的方案和并测试运行,希望能够有效地指导工厂的生产控制,同时提高了工厂及时生产能力、改善了物料的流通,提高生产效率,以适应公司发展的需要。