微纳结构检测手段不断发展,现在主要使用的是白光干涉显微的检测方式,但是由于台阶边缘处的衍射,造成台阶边缘处会出现蝙蝠翼效应的伪影,严重影响到高度信息的获取,这种现象在台阶横向尺寸上达到分辨率极限时尤为明显。因此针对蝙蝠翼效应问题,探究白光干涉显微成像中横向分辨率与纵向分辨率的影响关系,寻找抑制或减小蝙蝠翼效应的有效方法,对正确提取微观形貌的三维信息有重要的科学意义与应用价值。本文探讨了蝙蝠翼效应产生的理论解释,对探测盲区这一概念进行深度分析,并选取一系列标准台阶结构和周期光栅,研究蝙蝠翼效应的伪影和台阶高度、周期及干涉显微物镜数值孔径之间的关系。通过实验结果可以发现,PSI（Phase shift interferometry）模式可以准确得到低台阶高度的三维形貌（台阶高度低于波长的四分之一）,而VSI（Vertical scanning interferometry）模式适用于高台阶高度的三维形貌。PSI法无蝙蝠翼伪影,而VSI法会带来蝙蝠翼伪影,且随着物镜数值孔径的增大,蝙蝠翼效应增大但仍为纳米量级,如果去除蝙蝠翼伪影就能获得准确的高度信息。本文提出了一种高精度快速测量算法―V-P融合去边缘算法。在一定扫描长度内,按照π/2的相位步进量进行时序垂直扫描,对应每个步进量存储一幅干涉图。将对干涉图的计算处理融入到时序垂直扫描存储干涉图的过程中,实现快速测量。在时序垂直扫描并记录干涉图完成的同时,完成空域上各像素点移相扫描精相位以及多幅干涉图的对比度求解。对多幅干涉图的对比度进行处理,得到垂直扫描粗相位。再将精相位与粗相位融合得到三维形貌测量结果。最后采用二维离散差分算法判断及消除待测样品中在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差,从而能比较准确的还原形貌曲线,确保了纵向与横向分辨率的准确性。