能源短缺和环境污染是21世纪人类面临的重大问题,发展清洁能源取代传统化石能源成为解决这些问题的科学途径之一。水力发电、潮汐、核能和太阳能都是可再生清洁能源,有一定的发展空间。其中,太阳能作为一种不污染环境,又取之不尽的新能源无处不在,这使光伏发电成为新能源利用中重要的组成部分。当今光伏市场是以晶硅太阳能电池为主,由于硅太阳能电池采用高品质单晶硅作为原料,成本很高。再者,硅太阳能电池使用的硅片厚度约为350微米,对高品质单晶硅使用量明显增加,这也是硅太阳能电池的一个困境。因此,发展低成本、新型薄膜太阳能电池是未来光伏科技的必然趋势。薄膜太阳能电池无论是对原材料的需求,还是制作工艺都比硅太阳能电池成本低。在薄膜太阳能电池中,目前研究较多的有非晶硅薄膜、碲化镉(CdTe)、铜铟镓硒(CIGS)等薄膜太阳能电池。CIGS薄膜太阳能电池是在玻璃或者其它廉价衬底上沉积6层以上化合物半导体和金属薄膜材料,薄膜总厚度约3～4微米,该电池成本低、性能稳定、抗辐射能力强,其光电转换效率高,被称为最有前途的廉价太阳能之一。尽管对该电池的研究已有很多,但从大规模商品化和实用化来看,还有许多问题需要解决,其中寻找与CIGS吸收层更加匹配的窗口层材料是实现商业化大规模生产必须完成的。本论文对太阳能电池窗口层材料——硫化镉(CdS)和氧化锌(ZnO)的制备方法和工艺做了详细研究,制备出高质量的适合CIGS太阳电池窗口材料,为实现CIGS薄膜太阳电池商品化奠定了基础。