高分辨率的紫外微型光纤光谱仪研制

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近年来,随着MEMS微机电(micro-electromechanical-system)技术的发展,光谱仪的微型化成为可能。无论是在实验级还是工业应用级的光谱仪的研发方面,国内外都取得了较大的成果,尤其是基于CCD的微型光纤光谱仪,由于结构简单、体积微小,适应野外作业和实时检测,已经广泛运用于环境监测、药品制作、LED照明分析、工业监测、空间探索等多个重要领域。由于大部分的电子光谱处于近紫外区域,而目前紫外光谱仪普遍存在分辨率较低、体积较为庞大的问题,本文分别制备了基于交叉型切尔尼-特纳结构和平场凹面全息光栅结构的近紫外光栅光谱仪样机,并且比较了两台样机的主要性能参数。最终基于C-T结构的光谱仪光谱范围为192nm-389nm,分辨率达到0.25nm左右,符合高分辨率紫外光谱检测的要求。本文主要探讨便携式光纤光谱仪的光学结构的设计,比较不同光学结构光谱仪的工作光谱范围及分辨率,并且使用ZEMAX软件进行优化,确定光谱仪的光学结构,根据原理性样机的机械结构和相关的调节装置,再结合实验室自主开发的电路系统和软件系统,进行光谱仪调节,最后采用标准光源定标得到符合要求的近紫外高分辨率微型光纤光谱仪。
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