【摘 要】
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近十年来,以柔性铰链为导轨,压电陶瓷为驱动的精密定位技术得到了长足的发展,已经广泛应用到精密定位、精密机床、扫描隧道显微镜、生物工程、医学等领域。本课题针对现有的纳米定位平台体积大、输出小、耦合度差和微传感器难于实现高集成度和小型化的缺陷,对纳米定位平台进行拓扑优化设计,并结合硅基电容梳齿微位移传感器建立了一个精密定位系统,为精密定位系统实现大行程、高精度以及高集成化提供一条新的道路。本文首先对拓
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近十年来,以柔性铰链为导轨,压电陶瓷为驱动的精密定位技术得到了长足的发展,已经广泛应用到精密定位、精密机床、扫描隧道显微镜、生物工程、医学等领域。本课题针对现有的纳米定位平台体积大、输出小、耦合度差和微传感器难于实现高集成度和小型化的缺陷,对纳米定位平台进行拓扑优化设计,并结合硅基电容梳齿微位移传感器建立了一个精密定位系统,为精密定位系统实现大行程、高精度以及高集成化提供一条新的道路。本文首先对拓扑优化理论进行详细的分析和研究,并针对纳米定位平台存在的一些缺陷,将多目标设计理论融入拓扑优
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