随着电力电子技术的发展,各种变频电路、斩波电路的应用不断扩大,在这些电力电子电路中的主回路不论是采用换流关断的晶闸管,还是采用自关断能力的新型电力电子器件,都需要一个与之并联的快速恢复二极管。尤其是以IGBT、IGCT为代表的电力电子器件的广泛应用,对快速二极管又提出新的要求,即具有短的反向恢复时间trr的同时还要具有软恢复特性。本文首先通过Silvaco TCAD软件仿真对不同基区浓度的二极管(非穿通型的快速二极管)进行仿真,发现不同基区浓度的二极管的反向耐压呈现不同的温度系数;并通过对大量的具有不同耐压的二极管进行试验,与仿真结构得到很好的一致;并从理论上分析了空间电荷效应对不同基区浓度的二极管耐压特性的影响。本文还通过对引入缓冲层的二极管进行仿真,发现缓冲层结构极大的改善了快恢复二极管的软度因子,并且通过仿真看出对改善二极管的高温耐压特性有很大的意义,缓冲层的引入同时使得二极管片厚减薄,因此正向导通特性也得到改善。本文还对实际生产工艺中的一些问题进行了研究,并且在生产中发现二极管的质量优劣分布和晶圆的电阻率的均匀性有很大的关系,并从理论上分析了出现这种现象的原因。