论文部分内容阅读
该文针对目前气体传感器面临的主要障碍--选择性差的问题,提出通过检测被测气体分子的荷质比来区分被测气体从而提高选择性的思想,通过对微型气体传感器研究现状的仔细分析,发现现有的气体传感器均不能实现对被测气体分子荷质比的检测.为此该文设计并制作了一种新颖的可进行气体分子荷质比检测的微型气体传感器.在总体设计的基础上,运用ANSYS有限元分析软件对结构进行了模拟,并根据模拟的结果对结构进行了优化设计.在确定了最终的传感器结构以后,用Tinner软件进行了版图的绘制.