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压电执行器越来越广泛地应用在了纳米定位技术当中,然而它的非线性却影响了它的使用。虽然通过控制方法可以在一定程度上减小由非线性引起的误差,但是大多控制方法都有多个参数需要确定,这给压电的应用带来了不便。本篇论文正是以压电执行器为背景,以PID控制器为前提,来研究控制器的优化设计方法。本文的主线是压电建模——PID优化——结果分析。在建模时,分别研究了压电执行器的静态以及动态建模方法,并以PPA80L为研究对象,为其建立静态模型和动态模型。静态模型主要是描述压电执行器的磁滞现象,因此静态模型也