绿色技术创新是实现“双碳”目标的重要抓手,在倡导构建以市场为导向的绿色技术创新体系的今天,政府每年会对制造业进行高额的创新补贴。那么,这些补贴是否会被用于绿色技术研发,绿色技术创新成果如何?是否有效提升绿色技术创新效率?研发补贴和税收优惠这两种补贴方式的补贴效果、差异又如何?如何充分发挥研发补贴和税收优惠对制造业绿色技术创新的激励作用,值得深入探讨。由此,本研究从政府补贴这一政府行为出发,以我国2011-2019年制造业27个细分行业为研究样本,与以往学者采用单方程计量模型会忽略变量间的内生性不同,本研究从内生性动态视角建立PVAR模型,探究研发补贴和税收优惠对制造业绿色技术创新效率的动态影响,以及制造业内行业异质性下二者对绿色技术创新效率差异性影响和交互作用。本研究首先在明确研发补贴、税收优惠和绿色技术创新及其效率等相关概念和相关理论的基础上,分析了研发补贴、税收优惠及两种补贴交互影响绿色技术创新效率的作用机理。其次,利用Super-SBM模型测算了绿色技术创新效率。再次,采用PVAR模型探究了研发补贴和税收优惠对制造业绿色技术创新效率的动态影响。研究发现:（1）当前我国对制造业研发补贴和税收优惠逐年上升,但存在不平衡情况,行业差异较大,明显向TI型制造业倾斜;绿色发展理念深入人心,制造业绿色技术创新效率得到明显改善,三大行业绿色技术创新效率呈现TI→CI→LI型制造业依次递减的趋势,表明TI型制造业是创新驱动发展下我国制造业绿色转型的关键,LI和CI型制造业的绿色技术创新效率存在较大提升空间,绿色技术创新资源投入不足是制约LI和CI行业绿色技术创新成果产出的关键因素。（2）研发补贴和税收优惠显著提升制造业绿色技术创新效率,研发补贴的贡献度优于税收优惠,二者的影响都存在时滞效应,研发补贴存在长期效应。研发补贴对总体绿色技术创新效率具有滞后1-10期正向效应,对LI型制造业具有滞后1期正向效应,对CI型制造业具有滞后1-4期正向效应,对TI型制造业具有滞后1-2期正向效应;税收优惠对总体和三大行业绿色技术创新效率都具有滞后1期正向效应。研发补贴对TI型制造业绿色技术创新效率的提振作用更明显;税收优惠对LI型制造业绿色技术创新效率的提振作用更明显。对于TI和CI型制造业,研发补贴对绿色技术创新效率的贡献度优于税收优惠,而LI型制造业税收优惠的贡献度优于研发补贴的贡献度。（3）研发补贴和税收优惠对绿色技术创新效率有显著的正向交互作用,且在LI型制造业作用最强。（4）研发补贴、税收优惠和绿色技术创新效率都存在路径依赖。最后,从政府和企业两个角度提出对策建议。