尺蠖式压电步进进针机构的研究

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【摘要】

：

扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,STM)是纳米测量研究中最有力的工具之一。粗进针机构作为其核心组成部分之一,在很大程度上决定了STM的结构和性能。在商用STM中,普遍采用直线步进电机进行粗进针,然而由于存在螺纹空程、传动摩擦、间隙和发热等问题,直线步进电机的定位精度只维持在微米量级,并且其温度漂移导致的结构微小变化也会影响STM成像质量,甚至会导致撞针的

【作者】

：

肖文兰

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2012年12期

【关键词】

：

STM 进针机构压电陶瓷尺蠖式步进器柔性铰链

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