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力位控制技术是半导体与数控设备关键技术之一,本文依托国内研发的最新型全自动封装设备为背景,成功设计开发了一套力位切换控制系统。本文首先设计开发了位置控制、力控制系统,为力位切换控制搭建了平台。其中,位置控制系统中,设计了基于经典PID的双前馈加变参数PID位置控制框架,编写了三种速度规划算法。通过设计二阶低通滤波器和陷波滤波器算法,进一步提高了控制精度与稳定性。在力控制系统中,比较了直接力控制和间接力控制。从实现方式、力控效果、成本等方面进行了分析,并最终确定了本文的间接力控制方案。重点设计实现了两种力位切换控制方法:直接力位切换、基于速度阻尼的力位切换。分别提出了控制框架与思路,先从理论角度阐述了切换控制原理,然后实验设计验证切换控制方法的优劣,并作具体的分析与改进。对影响力位切换控制效果的各种因素做出了详细分析,通过实验确定了各个影响因子的最优参数。实际测试,位置控制精度可以达到在加速度30G(G为重力加速度),最大速度1m/s下,3ms内3μm的定位精度;力位切换过程平稳,力波动小,冲击力小于40g(g为质量单位克),基本无反弹力;力控制效果可以达到±3g,重复稳定性测试达到±5g。达到了预期的设计指标,为半导体封装设备设计提供了一定的借鉴。