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光栅作为重要的光学器件在光学领域有着广泛和重要的应用，但是传统光栅结构参数一旦制作就不能改变，MEMS光栅的出现解决了这个问题，也引起了许多科研工作者的关注。目前，国外MEMS光栅己广泛应用于传感器、光通信、光学显示等方面，但是国内对MEMS光栅的研究还处于起步阶段。 本论文主要研究叉齿状MEMS光栅和半椭圆状梳齿驱动器的MEMS光栅。首先，利用PolyMUMPs工艺对所设计的叉齿状光栅进行了制作，根据测试结果和仿真计算，得到随着电压的增大，MEMS光栅的位移也随之增大，且电压位移曲线呈二次曲线的关系。在85V电压下，MEMS光栅的位移测试值为2.1微米，仿真数据为2.7微米。然后，采用三角梳齿驱动器作为驱动部分来优化光栅结构，并对优化后的结构进行了分析得到这时候MEMS光栅的位移为3.4微米。 半椭圆状梳齿驱动器MEMS光栅的研究主要分为驱动器的研究和光栅性能的研究。加载电压为100V的时候，矩形梳齿驱动器的位移为3.7微米，三角状梳齿驱动器的位移为4.5微米，椭圆梳齿驱动器的位移为7.7微米。分析不同驱动器MEMS光栅的机械性能，在150V电压下，半椭圆状梳齿驱动器的MEMS光栅位移为2.4微米，而传统矩形梳齿驱动器光栅位移为1.09微米，效果显著。 通过对光栅进行光学建模，对比分析了固定光栅及可动光栅在不同位移下的光学特性。光强归一化之后，固定光栅和可动光栅在1.1微米和2.4.5微米的第4级主极大强度分别为：0.127，0.13和0.1324；衍射角12.01弧度，11.88弧度和11.73弧度。得到随着光栅间距增大，同级衍射光的光强也增大，衍射角变小，分光能力更好。 本论文对MEMS光栅的结构和驱动器进行了系统的研究，提出了能够有效的改变光栅间距的叉齿状光栅结构和半椭圆状梳齿驱动器的设计方案。分析了所设计结构的机械性能和光学特性，有效的解决了MEMS光栅所存在的一些问题，对驱动器和MEMS光栅的发展有很重要的意义。