【摘 要】
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该文介绍了真空紫外波段滤光片的发展以及各种不同金属在这一领域的应用;报道了真空紫外滤光片制作的一般工艺,并在此基础上提聘种基于薄膜衬底和反应离子刻蚀的全新的制作工
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该文介绍了真空紫外波段滤光片的发展以及各种不同金属在这一领域的应用;报道了真空紫外滤光片制作的一般工艺,并在此基础上提聘种基于薄膜衬底和反应离子刻蚀的全新的制作工艺,讨论了滤光片的老化、储存、清洁和在应用中可能出现的一系列问题;介绍了激光惯性约束聚变实验中表面起伏靶的有关问题,探讨了大调制度表面正弦图形的制作工艺,给出实验结果并进行了讨论.
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