微机械电子系统(Micro-electro-mechanical System, MEMS)是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器件组成的自动性能高、可以活动和控制、机电合一的微机械装置。MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、性能稳定、可靠性高、适于大批量生产、生产成本低、惯性小、谐振频率高、响应时间短等传统器件无法比拟的优点,因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。文章首先介绍了基于微电子机械系统(MEMS)技术的MEMS光开关的应用范围、研究现状和一些典型的光开关结构。然后在文中详细叙述了一种基于(100)硅片的2×2 微光机械光开关产 品的结构设计、实验工艺,并进行了产品的性能测试。所研制的光开关插入损耗小于3dB,开关时间小于5ms,串话小于-50dB,尺寸小于1cm~3,能耗小于10mW,寿命大于100 万次。