稀土巨磁致伸缩材料的制备及其结构和性能研究

来源 :华南理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pangjunli
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该论文分别研究了巨磁致伸缩材料Tb<,0.27>Dy<,0.73>Fe<,1.95>块体合金和薄膜材料的制备方法、热处理工艺以及材料晶体结构和相组成等微观组织;通过对现有设备的适当改进,优化有关薄膜制备工艺参数;研究退火处理对薄膜结构和性能的影响.块体合金样品采用高氩气电弧真空熔炼技术制备,随后进行高纯氩气真空均匀化退火.薄膜样品采用RANDXMODEL2400射频溅射系统制备.通过对现有的设备适当的改进,优化射频溅射工艺参数,封样对薄膜样品进行退火处理.金相分析表明,Tb<,0.27>Dy<,0.73>Fe<,1.95>块体合金在高温退火后,晶粒有长大现象.采用X射线衍射和电子能谱方法对块体合金的晶体结构和相组成进行分析,结果表明,Tb<,0.27>Dy<,0.73>Fe<,1.95>合金中有RFe<,2>Laves相的存在.在合金的基体中存在富稀土的第二相.采用X射线衍射和电子能谱对薄膜材料的相结构和成份进行分析,结果表明,在薄膜材料制备过程中,溅射气压对溅射气体元素在薄膜中的含量有影响.
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