大气压下均匀辉光放电研究

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该文以工业应用为最终目标,对大气压下均匀辉光放电进行了研究.论文工作包括以下4个主要部分:设计、安装和调试了一台用以研究大气压下辉光放电的实验装置,它采用介质阻挡电极结构、电容耦合高频放电的形式.对大气压下氦气辉光放电进行了深入、系统的研究;对大气压下空气辉光放电进行了初步研究.利用电路模型和实验数据数值求解了大气压下氦气辉光放电过程,并对实验结果进行了解释.尝试了利用电容阻挡电极结构和电阻阻挡电极结构进行大气压下辉光放电的可能性.实验结果表明:在氦气中比较容易实现大气压下辉光放电;而在空气中有相当的难度,仅可在2mm以内的空气间隙中实现大气压下均匀放电.难以实现较大空气间隙(5mm)大气压下辉光放电的原因可能是:大气压下空气击穿场强(约3kV/mm)远大于氦气间隙平均击穿场强(270V/mm),高气压强电场将使电子雪崩发展成流注,即细丝放电.为此,作者提出了利用紫外照射降低空气放电电压的方法.实验结果还表明:大气压下氦气辉光放电的强度(平均放电电流、等离子体功率密度)随外加电压的幅值增大而增大;随电源频率增大而线性增加.更为重要的发现是:放电强度正比于阻挡介质的表面电容率;当介质厚度确定时,放电强度正比于介质的相对介电常数.氦气中杂质对大气压下辉光放电影响的实验研究表明:彭宁电离可能在氦气放电中起重要作用.电容阻挡放电和电阻阻挡放电实验表明:前者只能得到电弧放电而不可能实现辉光放电;后者必需找到电阻率合适的材料.
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