基于正弦相位调制的光栅干涉法测量振动物体面形的研究

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正弦相位调制干涉测量法是对参考光束进行正弦相位调制,并对干涉信号进行分析,求出被测物体物理量的方法。该方法具有结构简单、测量精度高、抗干扰能力强等优点。在位移、振动、表面形貌、微角度测量等领域已成为一项重要的高精度测量技术。在本论文中,首先介绍了光栅副中光的衍射及干涉现象和频谱分析原理,并阐述了光栅调制测形原理。其次,根据正弦相位调制光栅干涉法的原理对一个振动物体的二维表面形貌进行测量,选择合适的光学元件后,经过光路系统的搭建和调试,对带有正弦振动的塑料板进行实验测试,通过高
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