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该论文主要讨论了一个高精度的CCD测径系统实现方法,物方远心光路在测径系统中的应用,还讨论了影响CCD测量精度的各种因素,并提出了一种利用多项式插值精确测量物体尺寸的方法.利用现有的设备实现了高精度的测径系统.该测径系统测量范围1-10mm,测量精度达到了±1μm.
基于CCD的高精度测径系统的研究
【摘 要】
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该论文主要讨论了一个高精度的CCD测径系统实现方法,物方远心光路在测径系统中的应用,还讨论了影响CCD测量精度的各种因素,并提出了一种利用多项式插值精确测量物体尺寸的方
【机 构】
：
太原理工大学
【出 处】
：
太原理工大学
【发表日期】
：
2001年期
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