【摘 要】
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白光扫描干涉法在三维表面形貌的测量中有着广阔的应用前景。本文在了解各种三维表面形貌测量方法的基础上，比较了各种方法的优缺点，对使用白光扫描干涉法高精度测量三维表面形
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白光扫描干涉法在三维表面形貌的测量中有着广阔的应用前景。本文在了解各种三维表面形貌测量方法的基础上，比较了各种方法的优缺点，对使用白光扫描干涉法高精度测量三维表面形貌技术进行了研究。 建立了在频域分析白光干涉图像求解表面高度的算法，在消除相位跃变上作了主要工作。分析了PZT步进间隔、步进总数、CCD灰度等级这几个参数以及PZT误差对计算高度准确性的影响。 自行组建了白光扫描干涉测量的实验装置，编程实现了PZT扫描的控制、CCD图像的采集，通过计算得到被测的三维表面图像，验证了白光干涉频域分析算法可以消除相位的不确定性。白光扫描干涉法扩大了纵向测量范围，达到了纳米级的精度。
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