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直流电弧等离子体射流反应蒸发制备AIN超微粒子的工艺研究
【机 构】
:
科学院金属研究所第七研究室(沈阳)
【出 处】
:
中国真空学会第五届学术会议
【发表日期】
:
1998年期
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