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电化学放电加工(ECDM)是一种针玻璃、陶瓷等非导电材料进行加工的有效方法。为实现石英材料电化学放电微细结构加工,使用电化学刻蚀方法加工了针形微细电极.提出了精密测量电极-工件间隙的方法。研究了电解液浓度和电解液的液面高度对电化学放电加工中临界电压和临界电流的影响.实验表明,电解液浓度为2.5M/L、电解液的液面高出工件表面200μm时有利于获得最小的加工能量。研究了电极-工件间隙对加工尺寸的影响,电极-工件间隙为8μm时获得了直径14μm孔和宽度19μm的徽槽。