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用改进的Sol-Gel技术研制出BST、PLT和PZT铁电薄膜.它们具有优良的热释电性能,是制备非致冷热释电红外探测器阵列优选材料;解决了制备非致冷铁电红外探测器阵列的关键技术,研制出8元、9元、10元线列和8×8元阵列,其电压响应率达8.6×10<3>V/W.
非致冷铁电薄膜热释电红外探测器阵列的研究
【摘 要】
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用改进的Sol-Gel技术研制出BST、PLT和PZT铁电薄膜.它们具有优良的热释电性能,是制备非致冷热释电红外探测器阵列优选材料;解决了制备非致冷铁电红外探测器阵列的关键技术,研制出8元、9元、10元线列和8×8元阵列,其电压响应率达8.6×10V/W.
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系(武汉)
【出 处】
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第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会
【发表日期】
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2001年3期
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