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应变式压力传感器广泛采用平膜片作为弹性元件,它具有线性度好、性能稳定、工作可靠等优点,是一种测量精度较高的压力传感器。但随着被测压力的增加,即在高压测量时非线性误差增大、传感器边界刚度变差、输出灵敏度减小等一系列问题,使平膜片使用受到限制。该文提出采用变厚膜片作为传感器的弹性元件,使传感器测量范围可提高到120Mpa测量精度在0.2℅以内,输出灵敏度提高到1.5mv/v—2mv/v。文章阐述变厚膜片的设计思想,提供了采用些种膜片之传感器的测试数据,证明采用变厚膜片制作的高压力传感器克服了平膜片的不足,有其广阔的前景。(本刊录)