浅析磁控溅射部分氧化镍铬膜工艺

来源 :2011年中国玻璃行业年会暨技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fliedpig
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在磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产工艺中,镍铬膜经常被用在银膜的上面作为保护层,防止后续沉积介质膜(氧化锡、氧化钦、氮化硅)时,有害气体和杂质污染、腐蚀银膜。有很多种生产工艺要求在银膜下面,也沉积一层镍铬膜,阻挡玻璃表面的钠离子和银膜下面介质层中的有害物质对其腐蚀,特别是可钢化低辐射镀膜玻璃生产工艺中,银膜上、下各有一层镍铬膜的组合,应用比较广泛。镍铬膜对可见光有一定的吸收作用,提高低辐射镀膜玻璃可见光透过率的方法有很多,其中一种是降低镍铬膜厚度,但降得太低就起不到保护银膜的作用。银膜上、下各有一层镍铬膜的可钢化低辐射镀膜玻璃产品,钢化前可见光透过率很难达到70%,无法达到80%。如果将镍铬膜替换成部分氧化镍铬膜,就很容易生产出可见光透过率70%,甚至80%的产品。部分氧化镍铬膜不仅具有纯镍铬膜一样的保护功能,而且还具有可见光吸收率低,与介质膜结合力强的优点,缺点是膜层厚度要增加,膜层溅射沉积工艺控制有一定难度和技巧。
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