【摘 要】
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为了满足恶劣环境下金属结构件的健康监测需要，本论文采用表面工程技术，在金属结构件表面依次沉积由粘接层、绝缘层、敏感层、防护层等组成的集成敏感薄膜，在不破坏金属结构件力
【机 构】
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电子薄膜与集成器件国家重点实验室,电子科技大学,成都 610054
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为了满足恶劣环境下金属结构件的健康监测需要，本论文采用表面工程技术，在金属结构件表面依次沉积由粘接层、绝缘层、敏感层、防护层等组成的集成敏感薄膜，在不破坏金属结构件力学性能的前提下，实现结构与功能的一体化集成，使金属结构件具有诊断其自身状态和环境参数的能力。作为这种结构／功能一体化集成薄膜材料的典型应用，本文研制的薄膜应变计和薄膜热电偶已用于航空发动机叶片表面温度和叶片应力／应变的检测。
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